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Lehrbuch Mikrosystemtechnik: Anwendungen, Grundlagen, by Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Visit Amazon's Frederic

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Die soziale Sachwerterhaltung auf dem Wege der Versicherung

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Ist die Unterätzung u hingegen sehr groß, so verringert sich der Anisotropiegrad. Das Aspektverhältnis Asp beschreibt das Verhalten von Ätztiefe t zu Unterätztiefe. Asp = t u Merke Vertiefungen • offene Mikrostrukturen in einem Substrat; • haben in der Regel einen rein passiven Charakter • werden benötigt, wenn mechanisch bewegliche Mikrostrukturen keinen Bewegungsspielraum im eigenen Substrat besitzen • werden so angeordnet, dass ein entsprechender Bewegungsspielraum entsteht • können mit Hilfe von nass- und trockenchemischen Ätzprozessen sowie mit Präge- und Abformprozessen realisiert werden.

Große Reynoldszahlen stehen für Strömungen, bei denen die Trägheitskräfte gegenüber den Reibungskräften dominieren. In diesem Fall können sich in der Strömung Wirbel bilden. Das laminare Strömungsprofil geht dabei verloren. Druckverlust in Kanälen Der Druckverlust Δp vr in Kanälen ist eine entscheidende Größe im Betrieb. Er hängt von der Reibung des Mediums an der Wandung ab und berechnet sich aus: Δp vR = l ⋅ λ ⋅ ρ ⋅ v2 2 ⋅ Dh Dabei sind l die Rohrlänge und λ der Rohrreibungsbeiwert. Letzterer wird in starkem Maße von der Oberflächenqualität der Wandungen bestimmt.

Timoshenko; S. 3 Vertiefungen Schlüsselbegriffe Vertiefungen in der Substratoberfläche, typische Profilformen in Silizium, weitere Formen in unterschiedlichen Materialien, hybride Montagetechnik, Präzisionsfixierung von Lichtwellenleitern, Anisotropiegrad, Aspektverhältnis Bewegungsspielraum für Mikrostrukturen Vertiefung in der Substratoberfläche Unter Vertiefungen sind offene Mikrostrukturen zu verstehen, die sich in einem Substrat befinden. In der Regel besitzen Vertiefungen einen rein passiven Charakter.

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